Dezvoltarea litografiei fără mască pentru nanostructurarea tridimensională a nitrurii de galiu (GaN)

Director de proiect, gradul ştiinţific Codul (cifrul) proiectuluiInstituţia executoareTipul proiectuluiDirecţia strategicăCaracterul cercetărilorTermenul de realizareRezultatele preconizateAlocaţii bugetareCofinanţare
dr. Popa Veaceslav Iurie
14.820.18.02.11.STCU.A/5933
Universitatea Tehnică a Moldovei
Proiecte bilaterale
Materiale, tehnologii şi produse inovativeAplicativ2014-03-01 - 2015-12-31
2014
Se vor elabora condiţii tehnologice pentru nanostructurarea substraturilor de GaN crescute prin metodele MOCVD şi HVPE. Vor fi elaborate tehnologii de nanostructurare tridimensională a nitrurii utilizînd tratare cu raze ionice focusate. Vor fi elaborate şi caracterizate structuri senzorice de tipul SAW pentru aplicaţii bio şi chimice.
2015
Se va fabrica pompa peristaltică în baza membranelor suspendate de GaN fabricate prin procedeul tehnologic propus de nanostructurare tridimensională. Vor fi obţinute caracteristicile pompei peristaltice cu limitele şi performanţele estimative şi reale.
2014
77.05
2015
152.0
2014
0.0
2015
0.0